• Ultra High Purity (NH₃)
  • He recycle system
  • Ultra High Purity Chlorine (Cl₂)
  • Plant Flow Chart

Ultra High Purity (NH₃)

코아텍 자체 기술력으로 사업성 평가, 플랜트 설계(시뮬레이션포함), 제작, 공급,
설치, 시운전까지 일괄도급 건설을 수행합니다

  • Plant specification
    - Capacity
    5,000Ton/year
    - Quality
    Input NH₃ 99.6%over, Residual : 0.4%
    (Raw NH₃ residual : H₂O, Oil, O₂, N₂, CO, CO₂, CnHm…)
    Output : 7N NH₃

  • Human Safety First
    Advantages of Automated Systems
    Mechanical advantage
    - 반도체,LED 및 열처리 공정에서 사용되는 초 고순도의 암모니아 가스를 정제 생산
    - Raw Material 99.6% -> Product 99.99999% (7N) 수율97%, 가동률 90%
    - VENT GAS를 공업용 암모니아수로 재판매 하여 이익을 극대화시키며
    폐수처리비용 절감
    - 타사 대비 향상된 생산능력 및 SIMPLE 플랜트 제작으로 건설기간 및 원가 절감

  • Performance
    국내
    - 평택 “C” 사 초고순도 생산 플랜트 연간1,000톤
    - 안산 “S” 사 B동 초고순도 공급 플랜트 연간500톤
    - 안성 “C” 사 초고순도 생산 플랜트 연간5,000톤
    - 구미 “A” 사 초고순도 공급 플랜트
    - 안산 “O” 사 초고순도 공급 플랜트
    - 용인 “W”사 초고순도 공급 플랜트
    - 안산 “S” 사 D동 초고순도 공급 플랜트 연간1,000톤
    - 구미 “J” 사 초고순도 공급 플랜트 연간500톤
    국외
    - 중국 “A”사 초고순도 생산 플랜트 연간4,000톤
    초고순도 암모니아는 초박막 액정 디스플레이 (TFT-LCD)와 집적회로 및 발광
    다이오드 (LED) 같은 첨단전자시장에서 필수 불가결한 산업공정용 특수가스이다.

He recycle system(Package)

코아텍 자체 기술력으로 He recycle 시스템을 구축하여
열처리 및 반도체 공정에서 사용되는고가의 헬륨을 회수 및 재생하여
재사용을 위한 플랜트 입니다.

  • Human Safety First
    Advantages of Automated Systems
    Mechanical advantage
    - 99.9%(3N) He을 99.999(5N) O₂농도 20ppm이하로 정제, 회수 하여 재사용
    - 공정 회수시 존재하는 O₂를 촉매 Base 에서 H₂와 접촉시켜 H₂O 전환 후 드라이어 배출(He)=>Catalyst+(H₂+O₂)=H₂O
    - 헬륨 재활용 시스템을 통한 급냉 매체 사용 (담금질 회당 99.5% 회수) 및 비용 절감 효과 가능

Ultra High Purity Chlorine (Cl₂)

  • Mechanical advantage
    - 국내 최초로 반도체 및 LED 공정에서 사용되는 초 고순도 Cl2 정제 가스 양산 성공
    - Raw Material 99.5% -> Product 99.9999%(6N) 수율 97%, 가동율 90%
    - 자동화 시스템 을 통한 운용비용 및 운용인원 절감
    - 타사 대비 극대화된 생산능력 및 SIMPLE 제작을 통한 플랜트 건설 원가 절감

  • Performance
    - 안성 “C” 사
    초고순도 생산 플랜트 연간1,000톤
    - 울산 “H” 사
    초고순도 생산 플랜트 연간1,000톤

  • Plant specification
    - Capacity
    1,000Ton/year
    - Quality
    Input NH₃ 99.6%over, Residual : 0.4%
    (Raw NH₃ residual : H₂O, Oil, O₂, N₂, CO, CO₂, CnHm)
    Output : 7N NH₃

  • Human Safety First
    Advantages of Automated Systems

Plant Flow Chart
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